该异质结高效电池制造整体解决方案由迈为自主研制、实现整线设备国产化,其完整覆盖了异质结电池生产的四道工艺,通过大片化、薄片化、半片化制程,结合创新 i-in-p PECVD 工艺路线,集成整线 MES 智能系统,进一步提升了太阳能电池的转换效率、 良率、产能,同时降低了生产成本。
工序流程
01 清洗制绒
02 硅基薄膜沉积(PECVD)
03 透明导电薄膜沉积(PVD)
04 丝网印刷