工艺管路 蒸汽系统

　　工艺管路 氮气系统

　　氮气管道内壁质量要求严格,必须保持内壁光滑清洁,特别是里口焊缝要求无焊瘤、无 焊

　　工艺管路 NMP系统

　　工艺管路 真空系统

　　工艺管路 压缩空气

　　除湿干燥

　　设计规范

　　1.GB 50073-2013 洁净厂房设计规范

　　2.GB 50019-2015 工业建筑供暖通风与空气调节设计规范

　　输入条件

　　1.温度 2.湿度 3.正压 4.洁净等级 5.再生排风

　　6.车间设备排风 7.车间面积及高度

　　输出结果

　　1.风速 2.新风量 3.冷负荷 4.新风量 5.车间体积 6.排湿风量

　　7.换气次数及面 8.增加冷负荷 9.除湿量及加湿量

　　洁净厂房

　　设计要点

　　换气次数：50~60次（非单向流）

　　系 统：新风（MAU）+干盘管（DC）+风机过滤器单元（FFU）

　　气流组织：上送下侧回（回风柱回风）方式

　　说 明：MAU处理系统湿负荷，干盘管采用13/18℃中温水处理系统的热负荷，初、中、高效三级过滤保证房间洁净度，MAU风机变频。

　　空调通风

　　设计规范

　　1.工业建筑供暖通风与空气调节

　　2.GB 50472-2008工业洁净厂房

　　3.建筑防排烟系统技术规范-2015审批版

　　低压配电

　　设计规范

　　1.GB50052-2009 供配电系统设计规范

　　2.GB50054-2011 低压配电设计规范

　　3.GB50034-2013 建筑照明设计标准

　　4.GB50057-2010 建筑物防雷设计规范

　　真空系统

　　压缩空气

　　净化系统

　　换热系统

　　电力系统

　　除尘系统

　　NMP系统

　　NMP回收塔