核心技术
非晶硅在高温晶化时脱膜抑制技术
低粉尘工艺技术
沉积薄膜过程电场阻抗系统稳态控制技术
大面积均匀性控制技术
等离子体脉冲氧化法制备超薄氧化硅技术
“氧化硅+原位掺杂非晶硅”二合一工艺技术
相关描述
金辰股份与中科院宁波材料所展开战略合作，探索出用管式PECVD装备实现TOPCon光伏电池核心材料“超薄氧化硅+原位掺杂非晶硅”的制备，同时在抑制非晶硅爆膜、防止电场导通、实现高效电池全工艺集成等关键技术方面取得了重大突破，推出了简化工艺流程解决方案。
等离子体增强型化学气象沉积（PECVD）技术
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