ToolSimu

复杂设备调度最优解

智能设备调度与控制

基于IKAS核心技术完全自主可控的半导体智能设备调度与控制产品，实现复杂设备调度最优解，保障产业链安全

设备调度难题

晶圆驻留时间约束

加工模块故障

晶圆重入腔室加工

活动时间波动

产品配方种类繁多

 

效益提升

设备产出提升
减低REWORK和报废
减少设备和产线死锁

PdM

设备状态预警，避免意外宕机

智能设备监控及维护预警

IKAS针对半导体行业的PdM解决方案，集状态监测、故障诊断、趋势分析、设备状态提前预警、智能运维建议于一身，打破国外垄断，实现国产化替代

设备调度难题

 

难度高、效率低

难以有效掌握设备状态

定时、定量维护浪费成本

无法有效避免意外事件发生

效益提升

减少计划外宕机时间
50%
增加设备使用寿命
3%～5%
减少设备维护成本
10%～40%
减少物料浪费
10%～20%
减少设备错误警报
90%
降低人力成本
>30%

DigiTwin

镜像模型，洞见生产，优化运营

智能数字孪生

自主研发针对半导体3D智能孪生技术解决方案，实现从物理世界到数字化世界，并从数字化世界反馈回到物理世界的过程，帮助企业提高生产效率

设备调度难题

资源种类繁多，运维复杂

突发事件通知、处理不及时

海量碎片化数据

生产调优成本高昂

 

效益提升

运营成本降低
>10%
资产运维效率提高
>15%
生产问题定位效率提升
>60%
生产调优成本降低
>20%
返工率降低
>10%
产品质量提升
>1%

APS

智能决策大脑

智能生产模拟、计划与排程

基于IKAS自主知识产权的核心ROPN底层建模技术，对半导体和泛半导体进行模拟、计划与排程的智能系统，助力产线效能赶超国际先进水平

设备调度难题

资源利用率低

产线WIP大幅波动

不能高效应对频繁的计划变更

生产周期（cycle time）长

高混合性生产需求

 

效益提升

CYCLE TIME降低
>10%
核心瓶颈设备利用率
>5%
降低由违反Q-TIME规则引起的REWORK
>80%
BATCH FACTOR提高
>20%
优化设备WIP及利用率VARIABILITY
>80%
降低生产计划和排程团队人力
>80%

RTD

实时调度，处理突发状况

智能实时生产调度

针对光刻机等核心瓶颈工位，基于AI算法的实时调度解决方案。在高混合生产状态及严苛生产规则条件下，帮助产线解决实时生产调度的重大难题

设备调度难题

产线资源种类和产品种类繁多

生产约束条件严格

协作关系复杂，生产连续性强

产线实时情况变化快，规则或人调度效率低

效益提升

提升FAB产出
3%～12%
CYCLE TIME降低
30%
提升资产、设备综合利用率
2%～15%

SQIM

机器视觉，精确检测预测

AI质检和量测

全国产化的AI质检软硬件体系，通过国际领先人工智能技术，有效提高良率

设备调度难题

检查效率低、周期长

数据时效性差、难以实现数据闭环

漏检率、错检率高

半导体行业人才紧缺

 

效益提升

质检精确率
>99%
提升量测效率
>80%
降低人力成本
>30%
降低实验成本
>20%
质检召回率
>95%
降低量测标准差
>50%
提高问题定位效率
80%
降低量测成本
>40%