MES 自动过账、机况,报警和OEE、Recipe 管理:上传和下载、Recipe 参数比对、晶圆盒 (Carrier ) 追溯、晶圆片生产追溯、生产参数追溯
基于 PK 体系 (中国自主可控的硬件和软件)开发的 EAP 系统
支援 SEMI E4/E5/E10/E37 等标准
跨平台设计 ARM/X86, Linux/Windows/Mac
已经在客户中进行一年以上的验证
打破传统 SECS/GEM 点对点 (SECS Multiplexer) 和异步执行的设计
提供 SECSServer 把非 SECS/GEM 标准设备转换成 SECS/GEM 设备 ,客户只需要专注于 SECS/GEM 开发